真空等离子设备的日常检查和维保的具体步骤

深圳子柒科技真空等离子设备的日常检查和维保的具体步骤：

平常如何解决日常使用中遇到的这些关于真空等离子设备的问题的呢？

第一，真空等离子设备在进行任何维修或保养之前，所有相关的安全预防措施都应采取，而不限于本使用手册所述。要关闭设备电源开关，切断总电源保护器，关闭所有的煤气，准备必要的工具包。

第二，真空腔与真空等离子设备的维护

A、真空腔和电极板是处理工件的工作区域，当工件使用到一定时间后，腔体内仍有部分污物附着在电极板和腔壁上。处置方法：连续使用一个月后，用无尘布(纸)沾酒精清洗所有的电极板和腔壁，保持腔壁清洁。

B、观察窗是指工作人员在工作时观察空腔内放电的窗口，在使用一段时间后，窗口玻璃表面产生的微蚀会使观察窗变得模糊。使用无尘布料(纸)，沾上酒精或丙酮，清洗玻璃或直接更换真空玻璃。

C、深圳子柒科技真空泵中使用的油为防氧化专用油，及时更换对真空泵的正常工作有利，延长泵体的使用寿命，建议每隔三个月更换一次，要经常注意观察真空泵内的油量是否充足，油面若低于使用下限(油面计旁有明显标志)，应及时给泵注入新油，直至正常使用。