大气等离子清洗机能清洁的污染物类型与厚度？

大气等离子清洗机虽然可以快速的清洁处理污染的表面，但仍有极限；我们作为厂家常常遇到客户想要以大气等离子清洗机清洁指纹、灰尘等；在清洁应用上，大气等离子清洗机是以化学反应方式将污染物氧化成CO2、CH4等挥发性物达到移除污染物之目的，因此无机类的污染物无法简单的以N2，或空气大气等离子去除，必需加入特别的气体，因此建议使用真空型式等离子清洗设备来处理无机污染物。另外，油污的厚度若太厚如指纹，需要较长的处理时间，此时需要考量试片的耐温性及处理成本，一般都会建议先以湿式清洁方法先去除大部份污染物后，最后再由大气等离子清洗机处理湿式方式无法清掉的部份；基本上小于100nm的有机污染物才会选择以大气等离子清洗机来处理。

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